GEM200 Remote Command远程命令是SEMI E30标准定义的核心功能允许上位机Host向设备下发指令以控制运行状态或执行特定操作。这是实现半导体产线全自动远程控制的基础。核心通信机制S2F41 Host Command SendHost通过S2F41消息向设备发送远程命令。消息体包含命令名称RCMD及可选的参数列表CPNAME/CPVAL例如START命令可附带配方ID和批次号等参数。S2F42 Host Command Acknowledge设备收到S2F41后必须回复S2F42消息进行确认。该消息包含命令执行结果码HCACK0以及具体参数的错误码CPACK用于告知Host命令是否被成功接受。常见标准命令START启动设备运行或开始加工流程。STOP有序停止当前运行流程。PAUSE/RESUME暂停正在执行的流程/从暂停状态恢复执行。ABORT紧急中止当前流程并进入安全恢复状态。典型交互时序1.前置条件设备必须处于ONLINE REMOTE状态才能执行控制类命令。2.命令下发Host发送S2F41请求启动设备校验状态与参数后回复HCACK0Accepted。3.异步完成通知命令执行完毕后设备通过S6F11上报对应的Collection Event如 ProcessStarted通知Host。常见拒绝原因码若命令无法执行设备会在S2F42中返回非零的HCACK状态码HCACK1无效命令设备未定义该RCMD。HCACK2当前状态不允许执行如设备处于Local模式。HCACK3参数错误参数名不存在或数值非法。Module Builder中的Command模块Module Builder中的Command模块主要有以下作用展示当前已经定义好的Command命令并支持用户对其进行修改和删除。允许用户新增Command命令支持新增带参数的Command命令以及不带参数的Command。用户可根据自身需求在Parameters表单中选择带参数还是不带参数。需要注意的是Command的Name属性具有唯一性在添加或修改的时候不允许重复。