《掩模版光学仿真与缺陷检测》专栏 · 第 4 讲副标题：采样定理、DFT 与卷绕误差——为什么你的仿真 bug 几乎总是"网格的错"前置知识：第 1–3 讲（复振幅、傅里叶变换、LSI 与卷积）· 预计阅读 32 分钟假设你刚用前三讲的理论写出了成像仿真器：复振幅、傅里叶变换、卷积定理，一路都对。跑出第一张空间像，问题来了——图上出现不该存在的周期条纹；或者掩模边缘位置随网格相位莫名抖动；或者整幅图悄悄漂移了几十纳米。检查物理：没错。检查代码：也没错。错的是网格。在计算机里，连续的光场被采样成有限数组，傅里叶变换变成了 DFT——这两个"妥协"各自带来一类误差（混叠与卷绕），加上频率轴对齐的低级错误，构成仿真界口口相传的"三大经典 bug"。本讲把三类问题的数学与物理一次讲透，并给出本行当独有的处方：光学仿真网格设计准则Δ≤λ/[2(1+σ)NA]\Delta\le\lambda/[2(1+\sigma)\mathrm{NA}]Δ